微细加工技术是一本由中国电子科技集团公司第48研究所主办的电子期刊，1983年创刊，双月刊。该刊严控学术质量，努力吸引高质量论文，为该行业领域发展建设与科研成果传播做贡献，欢迎大家踊跃投稿或订阅。本刊主要栏目有：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术。
微细加工技术杂志创刊于1983年，办刊以来，融指导性、实用性、知识性于一体，发行周期为：双月刊，经过杂志社调整，不断提高了刊物的整体质量，在行业内有一定的影响。
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(五)关键词应选择那些最具有检索意义的术语，通过这些术语反映论文所涉及的内容或领域，以便于读者检索到该论文。
作者：张庆钊; 谢常青; 刘明; 李兵; 朱效立; 马杰
作者：郭志超; 王光灿; 王清理; 张晋
作者：王明环; 朱荻; 王磊; 张朝阳
作者：张永华; 欧阳炜霞; 汪红; 丁桂甫; 蔡炳初; 赖宗声
作者：单建华; 林丙涛; 汪小华; 孔德义; 梅涛; 褚家如
被引次数：指该刊被当参考文献的引用次数，以及被下载次数。
影响因子：指该刊在某年被全部源刊物引证该刊前两年发表论文的次数，与该刊前两年所发表的全部源论文数之比。
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