微纳电子技术是一本由中国电子科技集团公司第十三研究所主办的科技期刊，1964年创刊，月刊。该刊严控学术质量，努力吸引高质量论文，为该行业领域发展建设与科研成果传播做贡献，欢迎大家踊跃投稿或订阅。本刊主要栏目有：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备。
微纳电子技术杂志创刊于1964年，办刊以来，融指导性、实用性、知识性于一体，发行周期为：月刊，经过杂志社调整，不断提高了刊物的整体质量，在行业内有一定的影响。
微纳电子技术杂志是中国最早公开出版发行的涉足纳米科学与技术领域的杂志，对国内纳米科学与技术、MEMS技术领域具有一定的影响，其内容包括：纳米电子学、纳米电子器件、纳米材料、纳米测量技术与设备、MEMS器件与技术、纳米技术应用以及国内外纳米材料与器件的最新进展报道，兼顾微米电子领域的最新研究成果和进展。
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作者：陈波; 杨熠豪
作者：马军爽; 樊艳
作者：赵丽霞; 张国良
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