电子工业专用设备是一本由中国电子科技集团公司第四十五研究所主办的电子期刊，1971年创刊，双月刊。该刊严控学术质量，努力吸引高质量论文，为该行业领域发展建设与科研成果传播做贡献，欢迎大家踊跃投稿或订阅。本刊主要栏目有：先进封装技术与设备、半导体制造工艺与设备、电子专用设备研究、专用设备维护与保养。
电子工业专用设备杂志创刊于1971年，办刊以来，融指导性、实用性、知识性于一体，发行周期为：双月刊，经过杂志社调整，不断提高了刊物的整体质量，在行业内有一定的影响。
电子工业专用设备杂志为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。
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作者：邢友翠; 闫萍; 刘玉岭; 李万策
作者：郎平; 王军帅; 高泽
作者：王浩楠; 刘洋; 严雪冬
作者：李文杰; 乔丽; 边国敏
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